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3. 有機ドラフト
【装置名】 有機ドラフト
【概略仕様】
ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：ウェハの手動有機洗浄作業と有機溶剤含有塗布剤スピンコーティングが可能な局所排気装置、作業面幅1800mm
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