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7. i-線ステッパ
【装置名】 i-線ステッパ
【概略仕様】
ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：i-線(紫外線)によるレチクルパターンの1/5縮小投影露光、最小解像線幅：0.35μm、使用レチクル：6インチ角、標準レジスト厚さ：１μm
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