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 利用可能な設備の詳細
8. マスク露光装置

【装置名】 マスク露光装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:6、8インチウェハ、機能:ウェハへのマスクアライメント、1:1転写露光、ラージギャップ、高段差露光、裏面アライメント対応、露光モード:バキューム/ハードコンタクト/プロキシミティ露光、アライメント精度:±0.5μm以内、標準レジスト厚さ:1μm、10μm

 
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