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 利用可能な設備の詳細
13. スプレーコータ

【装置名】 スプレーコータ
【概略仕様】
機能・特徴:3軸ロボットとスプレーガンによるレジスト塗布 塗布膜厚:5~10μm 塗布温度:40~80℃ ウェハ寸法:4、6、8 インチウェハ 等

 
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