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22. ８"Si深掘ドライエッチング装置
【装置名】 8"Si深掘ドライエッチング装置
【概略仕様】
ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：フッ素系ガスのICP高密度プラズマによるドライエッチング加工、ボッシュプロセス深堀加工、カセット･ツー･カセット搬送処理、プラズマ発光分光検出、ウェハエッジ保護機能付属
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