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35. ブレードダイサー
【装置名】 ブレードダイサー
【概略仕様】
ウェハ寸法：最大12インチウェハ、機能：ダイヤモンドブレードによるウェハ切断、ステージ分解能：0.1μm、送り速度：0.1－600mm/s
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