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 利用可能な設備の詳細
50. X線CT評価装置

【装置名】 X線CT評価装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:8、12インチウェハ、機能:X線CTスキャン顕微鏡観察、チップホルダ付属、取込立体画像/CAD図形変換、観察エリア:最大8インチ、最高分解能:1μm

 
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