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 利用可能な設備の詳細
51. テスタープローバー

【装置名】 テスタープローバー
【概略仕様】
ウェハ寸法:8インチウェハ、機能:プローブカードによる大気中でのウェハレベル電気的特性評価、セミオートウェハ搬送処理、容量計測・周波数解析機能、音響加振機能付属

 
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