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 利用可能な設備の詳細
52. 光学顕微鏡

【装置名】 光学顕微鏡
【概略仕様】
ウェハ寸法:8、12インチウェハ、機能:長焦点深度の光学顕微観察、画像処理機能付属、倍率:35-2500倍、ステージストローク:300×250mm

 
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